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我国还要自研EUV光刻机吗 我国当然要自研EUV光刻机,而且必须得加快速度。EU

我国还要自研EUV光刻机吗 我国当然要自研EUV光刻机,而且必须得加快速度。EUV光刻机是制造7nm及以下先进芯片的关键,没它,手机CPU、AI芯片等高端芯片都造不出来。
荷兰ASML垄断全球EUV光刻机市场,一台卖数亿欧元,还被美国施压不卖给中国。要是不自研,只能在成熟制程里徘徊,被别人用先进芯片碾压。
自研EUV光刻机难度极大,极紫外光源研发花了三十年、上百亿;超高精度反射镜表面粗糙度小于0.1纳米;纳米级运动台误差不能超几纳米。但为了国家科技自主权,再难也得搞,不能被人卡脖子。