半导体设备（前道设备），值得关注的4家公司

第一家，北方华创

1）公司是干什么的？

国内主流高端电子工艺装备供应商。

2）公司的亮点是什么？

在半导体装备领域，公司的主要产品包括刻蚀、薄膜沉积、热处理、湿法清洗、离子注入、键合等核心工艺设备，广泛应用于集成电路、三维集成、先进封装等制造领域。

公司的刻蚀、CVD、PVD、热处理、湿法清洗、电镀等设备成功适配3D NAND与HBM制造需求，已进入多家头部存储厂商的批量采购清单，成为其核心供应商。

第二家，中微公司

1）公司是干什么的？

公司产品以集成电路前道生产的等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备、量检测设备以及湿法设备等关键设备为主。

2）公司的亮点是什么？

公司在薄膜沉积领域已经有多年的技术积累，并且在全球半导体设备评比中连续多次获得薄膜沉积设备评比的第一。

公司高度重视先进封装类产品的研发，目前已覆盖的CCP和TSV等核心刻蚀设备实现批量交付，并已布局PVD、CVD、ECP、键合和量检测等设备。

公司在先进封装领域的设备覆盖率将做到70%以上。

第三家，拓荆科技

1）公司是干什么的？

国内半导体薄膜沉积设备领军企业，主要供货中芯国际、长江存储等公司。

2）公司的亮点是什么？

在半导体设备产业中，薄膜沉积设备是前道芯片制造的三大核心装备之一，是实现集成电路先进逻辑及3D NAND、3D DRAM、HBM等先进存储芯片技术突破的核心支撑。

在薄膜沉积设备领域，公司推出了PECVD、ALD、SACVD等核心的全系列薄膜沉积设备。

公司多款量产设备的关键性能指标均达到国际同类设备先进水平，已成为国内半导体薄膜沉积相关领域具备量产能力与核心竞争力的领军企业。

公司面向先进存储领域自主研发的PECVDSupra-DOPN、SiB、高温SiN等工艺设备均通过客户验证，并持续获得订单。

第四家，盛美上海

1）公司是干什么的？

清洗设备全球市占率前四。

2）公司的亮点是什么？

公司产品矩阵已覆盖清洗设备、电镀设备、先进封装湿法设备、立式炉管系列设备、涂胶显影设备等，且所有设备均拥有全球自主知识产权、具备差异化的市场竞争优势。

公司通过自主研发并具有全球知识产权保护的SAPS和TEBO兆声波清洗技术，解决了兆声波技术在集成电路单片清洗设备上应用时，兆声波能力如何在晶圆上均匀分布及如何实现图形结构无损伤的全球性难题。